ČESKÁ TECHNICKÁ NORMA
ICS 31.080.99 Duben 2017
|
Polovodičové součástky – |
ČSN 35 8775 |
idt IEC 62047-25:2016
Semiconductor devices – Micro-electromechanical
devices –
Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology – Measurement method of
pull-press and shearing strength of micro
bonding area
Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs
microélectromécaniques –
Partie 25: Technologie de fabrication de MEMS à base de silicium – Méthode de mesure de la résistance
à la traction-compression et au cisaillement d’une micro zone de
brasure
Halbleiterbauelemente –
Bauelemente der Mikrosystemtechnik –
Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Herstellungstechnologie – Messverfahren zur
Zug-Druck- und Scherfestigkeit gebondeter
Flächen im Mikrometerbereich
Tato norma přejímá anglickou verzi evropské normy EN 62047-25:2016. Má stejný status jako oficiální verze.
This standard implements the English version of the European Standard EN 62047-25:2016. It has the same status as the official version.
Anotace obsahu
Tato norma specifikuje zkušební metodu in-situ (na místě) založenou na vzorových technikách k měření přilnavosti mikrooblastí, které jsou vyrobeny mikroobráběcí technologií, která se využívá v mikroelektromechanických systémech (MEMS) na bázi křemíku.
Norma je použitelná k měření pevnosti při namáhání tah-tlak a ve smyku pro mikrooblast připojení, vyrobených mikroelektronickými technologickými procesy a dalšími mikroobráběcími technologiemi.
Mikro ukotvení, upevněné na substrátu pomocí mikrooblasti připojení, poskytuje mechanickou podporu pohyblivé snímací/ovládací funkční komponentě v součástkách MEMS. Se stárnutím součástek se stává závažnější degradace pevnosti připojení vlivem defektů, nečistot a nerovnoměrným tepelným namáháním na připojovací ploše. Norma nepotřebuje složité přístroje (jako je mikroskopie skenovací sondou a zhotovování nano-zářezů) a to ani k přípravě zkušebního vzorku.
Vzhledem k tomu, že zkušební sestava uvedená v této normě může být implantována při zhotovení zařízení jako standardní detekční vzor, může tento dokument poskytnout most, na jehož základě může výrobce návrhářům poskytnout nějaké kvantitativní reference.