ČESKÁ TECHNICKÁ NORMA

ICS 31.080.99; 31.220.01 Květen 2011

idt IEC 62047-  4:2008

Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices –
Part 4: Generic specification for MEMS

Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques –
Partie 4: Spécification générique pour les MEMS

Halbleiterbauelemente – Bauteile der Mikrosystemtechnik –
Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik

Tato norma přejímá anglickou verzi evropské normy EN 62047-4:2010. Má stejný status jako oficiální verze.

This standard implements the English version of the European Standard EN 62047-4:2010. It has the same status as the official version.

Anotace obsahu

Tato norma popisuje kmenovou specifikaci pro mikroelektromechanické systémy (MEMS). Tato kmenová specifikace je základem pro specifikace uvedené v dalších částech tohoto souboru pro různé typy MEMS aplikací, jako jsou senzory, RF MEMS, vyjma optických MEMS, bio MEMS, mikro TAS a výkonových MEMS. Tato norma určuje obecné postupy pro stanovení kvality, které se používají pro IECQ-CECC systémy a určují obecné principy pro určení a testování elektrických, optických, mechanických vlastností a vlastností, které mají vliv na životní prostředí.

Tato kmenová specifikace pomáhá v přípravě norem, které popisují součástky a systémy, které jsou vyrobeny pro technologii mikroopracování, zahrnují, avšak nejsou limitovány charakteristikou materiálu, manipulací, montáží a testováním, řízením výroby a měřicími metodami. MEMS, které jsou uvedeny v této normě jsou v podstatě vyrobeny z polovodičů. Avšak ustanovení, která jsou uvedena v této normě, mohou být také použita pro MEMS, které používají jiné materiály než polovodiče, například polymery, sklo, kovy a keramické materiály.

Národní předmluva

Informace o citovaných normativních dokumentech

IEC 60027 soubor zaveden v souboru ČSN EN 60027 (33 0100) Písmenné značky používané v elektrotechnice

IEC 60068-2 soubor zaveden v souboru ČSN EN 60068-2 (34 5791) Zkoušení vlivů prostředí – Část 2: Zkoušky

IEC 60617 databáze nezavedena. Databáze dostupná na www.iec.ch.

IEC 60747-1:2006 nezavedena

IEC 60749 soubor zaveden v souboru ČSN EN 60749 (35 8799) Polovodičové součástky – Mechanické a klimatické zkoušky

IEC 61193-2 zavedena v ČSN EN 61193-2 (35 9043) Systémy hodnocení jakosti – Část 2: Volba a použití přejímacích plánů pro kontrolu elektronických součástek a pouzder

IEC 62047-1 zavedena v ČSN EN 62047-1 (35 8775) Polovodičové součástky – Mikroelektromechanické součástky – Část 1: Termíny a definice

IEC QC 001002-3:2005 nezavedena

ISO 1000 zavedena v ČSN ISO 1000 (01 1301) Jednotky SI a doporučení pro užívání jejich násobků a pro užívání některých dalších jednotek

ISO 2859-1 zavedena v ČSN ISO 2859-1 (01 0261) Statistické přejímky srovnáváním – Část 1: Přejímací plány AQL pro kontrolu každé dávky v sérii

Souvisící ČSN

ČSN EN 60721-3-0:1994 (03 8900) Klasifikace podmínek prostředí. Část 3: Klasifikace skupin parametrů prostředí a jejich stupňů přísnosti. Úvod

ČSN EN 60721-3-1:1998 (03 8900) Klasifikace podmínek prostředí – Část 3: Klasifikace skupin parametrů prostředí a jejich stupňů přísnosti – Oddíl 1: Skladování

Vypracování normy

Zpracovatel: VUT FEKT Brno, IČ 00216305

Technická normalizační komise: TNK 102 Součástky a materiály pro elektroniku a elektrotechniku

Pracovník Úřadu pro technickou normalizaci, metrologii a státní zkušebnictví: Ing. Jan Křivka

Konec náhledu - text dále pokračuje v placené verzi ČSN v anglickém jazyce.

Zdroj: www.cni.cz