ČESKÁ TECHNICKÁ NORMA

ICS 31.080.99 Prosinec 2011

Polovodičové součástky – Mikroelektromechanické součástky –
Část 8: Zkušební metoda ohýbání proužku
pro měření tahových vlastností tenkých vrstev

ČSN
EN 62047-8

35 8775

idt IEC 62047-8:2011

Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices –
Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films

Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques –
Partie 8: Méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces

Halbleiterbauelemente – Bauelemente der Mikrosystemtechnik –
Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten

Tato norma přejímá anglickou verzi evropské normy EN 62047-8:2011. Má stejný status jako oficiální verze.

This standard implements the English version of the European Standard EN 62047-8:2011. It has the same status as the official version.

Anotace obsahu

Tato norma definuje zkušební metodu ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev. Vyznačuje se vysokou přesností, opakovatelností a  přiměřenou snahou, aby zkouška byla srovnatelná s konvenční zkouškou. Tato zkušební metoda je platná pro zkoušené vzorky s tloušťkou mezi 50 nm až několika μm a s ohledem na poměr délky a tloušťky větší jak 300.

Proužek (nebo můstek), který je zavěšený mezi dvěma upevněnými podložkami je součástí MEMS, nebo mikrostroje. To umožňuje snadnější výrobu mikroproužku, než vzorků pro normalizovanou zkoušku. Zkušební postupy jsou tak jednoduché, že se dají snadno automatizovat. Tato norma může sloužit pro určování kvality při MEMS ve výrobě, protože průchodnost zkoušky je ve srovnání s klasickou zkouškou vysoká.

 

Národní předmluva

Souvisící ČSN

ČSN EN 62047-2:2007 (35 8775) Polovodičové součástky – Mikroelektromechanické součástky – Část 2: Metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů

ČSN EN 62047-3:2007 (35 8775) Polovodičové součástky – Mikroelektromechanické součástky – Část 3: Tenkovrstvové normalizované zkušební kusy pro zkoušky v tahu

Vypracování normy

Zpracovatel: VUT FEKT Brno, IČ 00216305, Doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D.

Technická normalizační komise: TNK 102 Součástky a materiály pro elektroniku a elektrotechniku

Pracovník Úřadu pro technickou normalizaci, metrologii a státní zkušebnictví: Ing. Jan Křivka

Konec náhledu - text dále pokračuje v placené verzi ČSN v anglickém jazyce.

Zdroj: www.cni.cz