ČESKÁ TECHNICKÁ NORMA

ICS 31.080.99 Březen 2012

idt IEC 62047-9:2011

Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices –
Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS

Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques –
Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS

Halbleiterbauelemente – Bauelemente der Mikrosystemtechnik –
Teil 9: Prüfverfahren zur Festigkeit von Full-Wafer-Bondverbindungen in der Mikrosystemtechnik (MEMS)

Tato norma přejímá anglickou verzi evropské normy EN 62047-9:2011. Má stejný status jako oficiální verze.

This standard implements the English version of the European Standard EN 62047-9:2011. It has the same status as the official version.

Anotace obsahu

Tato norma popisuje metodu měření pevnosti vzájemného spojení dvou destiček, typicky se jedná o tavné
spojení křemík-křemík, anodické spojení křemík-sklo, atd. a je použitelná i při výrobě a montáži MEMS zařízení. Dá se použít pro tloušťky destiček od 10 μm do několika milimetrů.

Národní předmluva

Informace o citovaných normativních dokumentech

IEC 60749-19 zavedena v ČSN EN 60749-19 (35 8799) Polovodičové součástky – Mechanické a klimatické zkoušky – Část 19: Zkouška pevnosti čipu střihem

ISO 6892-1:2009 zavedena v ČSN EN ISO 6892-1:2010 (42 0310) Kovové materiály – Zkoušení tahem – Část 1: Zkušební metoda za pokojové teploty (idt EN ISO 6892-1:2009)

ASTM E399-06e2:2008 nezavedena

Souvisící ČSN

ČSN EN 62047-2 (35 8775) Polovodičové součástky – Mikroelektromechanické součástky – Část 2: Metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů

ČSN EN 62047-4 (35 8775) Polovodičové součástky – Mikroelektromechanické součástky – Část 4: Kmenová specifikace pro MEMS

Informativní údaje z IEC 62047-9:2011

Mezinárodní norma IEC 62047-9 byla vypracována subkomisí 47F: Mikroelektromechanické systémy, technické komise 47: Polovodičové součástky.

Text této normy vychází z těchto dokumentů: 

Úplné informace o hlasování při schvalování této normy je možné nalézt ve zprávě o hlasování uvedené v tabulce.

Tato publikace byla vypracována v souladu se směrnicemi ISO/IEC, část 2.

Komise rozhodla, že obsah této publikace se nebude měnit až do konečného data vyznačeného na internetové adrese IEC „http://webstore.iec.ch“ v termínu příslušejícímu dané publikaci. Po tomto datu bude publikace buď:

• znovu potvrzena,

• zrušena,

• nahrazena revidovaným vydáním, nebo

• změněna.

Vypracování normy

Zpracovatel: VUT FEKT Brno, IČ 00216305, Doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D.

Technická normalizační komise: TNK 102 Součástky a materiály pro elektroniku a elektrotechniku

Pracovník Úřadu pro technickou normalizaci, metrologii a státní zkušebnictví: Ing. Jan Křivka

Konec náhledu - text dále pokračuje v placené verzi ČSN v anglickém jazyce.

Zdroj: www.cni.cz