ČESKÁ TECHNICKÁ NORMA

ICS 31.080.99 Březen 2012

Polovodičové součástky –
Mikroelektromechanické součástky –
Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku
pro materiály MEMS

ČSN
EN 62047-10

35 8775

idt IEC 62047-10:2011

Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices –
Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials

Dispositifs à semiconducteur – Dispositifs microélectromécaniques –
Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS

Halbleiterbauelemente – Bauelemente der Mikrosystemtechnik –
Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik

Tato norma přejímá anglickou verzi evropské normy EN 62047-10:2011. Má stejný status jako oficiální verze.

This standard implements the English version of the European Standard EN 62047-10:2011. It has the same status as the official version.

Anotace obsahu

Tato část IEC 62047 specifikuje zkušební metodu pro měření tlakových vlastností pomocí tlaku mikrosloupku. Metoda má vysokou přesnost, opakovatelnost a zkušební vzorek je snadno vyrobitelný. Měří se vztah napětí a deformace vzorku působící mimo jeho osu a stanovuje se tlakový modul pružnosti a mez tečení.

Zkušebním přípravkem je válcový sloupek vyrobený z neohebného (velmi tuhého) substrátu určeného pro mikro-
strojní technologie. Poměr průměru a výšky sloupku by měl být více jak 3. Tato norma se může použít pro kovové, keramické a polymerní materiály.

 

Národní předmluva

Informace o citovaných normativních dokumentech

IEC 62047-8 zavedena v ČSN EN 62047-8 (35 8775) Polovodičové součástky – Mikroelektromechanické součástky – Část 8: Zkušební metoda ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev

Informativní údaje z IEC 62047-10:2011

Mezinárodní norma IEC 62047-10 byla vypracována subkomisí 47F: Mikroelektromechanické systémy, technické komise 47: Polovodičové součástky.

Text této normy vychází z těchto dokumentů:

FDIS

Zpráva o hlasování

47F/85/FDIS

47F/94/RVD

Úplné informace o hlasování při schvalování této normy je možné nalézt ve zprávě o hlasování uvedené v tabulce.

Tato publikace byla vypracována v souladu se směrnicemi ISO/IEC, část 2.

Seznam všech částí souboru IEC 62047, pod společným názvem Polovodičové součástky – Mikroelektromechanické součástky, je možno nalézt na webové stránce IEC.

Komise rozhodla, že obsah této publikace se nebude měnit až do konečného data vyznačeného na internetové adrese IEC „http://webstore.iec.ch“ v termínu příslušejícímu dané publikaci. Po tomto datu bude publikace buď:

Vypracování normy

Zpracovatel: VUT FEKT Brno, IČ 00216305, Doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D.

Technická normalizační komise: TNK 102 Součástky a materiály pro elektroniku a elektrotechniku

Pracovník Úřadu pro technickou normalizaci, metrologii a státní zkušebnictví: Ing. Jan Křivka

Konec náhledu - text dále pokračuje v placené verzi ČSN v anglickém jazyce.

Zdroj: www.cni.cz