ČESKÁ TECHNICKÁ NORMA

ICS 31.080.99 Říjen 2012

idt IEC 62047-14:2012

Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices –
Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials

Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques –
Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique

Halbleiterbauelemente – Bauelemente der Mikrosystemtechnik –
Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe

Tato norma přejímá anglickou verzi evropské normy EN 62047-14:2012. Má stejný status jako oficiální verze.

This standard implements the English version of the European Standard EN 62047-14:2012. It has the same status as the official version.

Anotace obsahu

Tato norma popisuje definice a postupy pro měření mezní tvářitelnosti kovových materiálů tvořících vrstvu pro tloušťky v rozmezí od 0,5 µm do 300 µm. Kovové vrstvy, které jsou v normě zmiňovány se používají v elektrických částech, MEMS a mikrosoučástkách. Norma uvádí metody předpovídání vad v materiálu při vtiskávacím procesu.

Národní předmluva

Vypracování normy

Zpracovatel: VUT FEKT Brno, IČ 00216305, Doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D.

Technická normalizační komise: TNK 102 Součástky a materiály pro elektroniku a elektrotechniku

Pracovník Úřadu pro technickou normalizaci, metrologii a státní zkušebnictví: Ing. Jan Křivka

Konec náhledu - text dále pokračuje v placené verzi ČSN v anglickém jazyce.

Zdroj: www.cni.cz