ČESKÁ TECHNICKÁ NORMA

ICS 31.080.99 Duben 2014

idt IEC 62047-11:2013

Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices –
Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical
systems

Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques –
Partie 11: Méthode d’essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes
microélectromécaniques

Halbleiterbauelemente – Bauelemente der Mikrosystemtechnik –
Teil 11: Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für freistehende Werkstoffe der Mikrosystemtechnik

Tato norma přejímá anglickou verzi evropské normy EN 62047-11:2013. Má stejný status jako oficiální verze.

This standard implements the English version of the European Standard EN 62047-11:2013. It has the same status as the official version.

Anotace obsahu

Tato norma popisuje zkušební metodu na měření lineárního koeficientu teplotní roztažnosti (CLTE) volně umístěných pevných (kovových, keramických, polymerních aj.) materiálů pro mikroelektromechanické systémy (MEMS) délek mezi 0,1 mm až 1 mm a šířek mezi 10 mm až 1 mm s tloušťkami od 0,1 mm do 1 mm. Jedná se o hlavní konstrukční materiály, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tato zkušební metoda se dá použít pro měření CLTE v teplotním rozsahu od pokojové teploty do 30 % teploty tavení materiálu.

Národní předmluva

Vypracování normy

Zpracovatel: VUT FEKT Brno, IČ 00216305, Doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D.

Technická normalizační komise: TNK 102 Součástky a materiály pro elektroniku a elektrotechniku

Pracovník Úřadu pro technickou normalizaci, metrologii a státní zkušebnictví: Ing. Jan Křivka

Konec náhledu - text dále pokračuje v placené verzi ČSN v anglickém jazyce.

Zdroj: www.cni.cz