Geometrické specifikace produktu (GPS) – Textura povrchu: Plocha –
Část 604: Jmenovité charakteristiky bezdotykových přístrojů (spojité skenovací interferometry)

ČSN
EN ISO 25178- 604

01 4451

Spécification géométrique des produits (GPS) –
État de surface: Surfacique –
Partie 604: Caractéristiques nominales
des instruments sans contact (à interférométrie
par balayage à cohérence)
(ISO 25178-604:2013)

Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft –
Teil 604: Merkmale von berührungslos messenden Geräte (der Kohärenz-Scannungs-Interferometrie)
(ISO 25178-604:2013)

Obsah

Contents

Strana

Page

Úvod 6

1 Předmět normy 7

2 Termíny a definice 7

2.1 Termíny a definice vztahující se ke všem metodám měření plochy textury povrchu 7

2.2 Termíny a definice vztahující se k x a y
skenovacímu systému 13

2.3 Termíny a definice vztahující se k optickým
systémům 15

2.4 Termíny a definice vztahující se k optickým vlastnostem obrobku 17

2.5 Termíny a definice specifické pro koherenční skenovací interferometrickou mikroskopii 18

3 Popisy ovlivňujících veličin 23

3.1 Obecně 23

3.2 Vliv veličin 23

Příloha A (informativní) Přehled a součásti koherenční skenovací interferometrie (CSI) mikroskop
27

Příloha B (informativní) Teorie postupu koherenční skenovací interferometrie (CSI) 33

Příloha C (informativní) Prostorové rozlišení 44

Příloha D (informativní) Příklad postupu pro odhad opakovatelnosti povrchové topografie 49

Příloha E (informativní) Vztah k maticovému modelu
GPS 50

Bibliografie 52

Introduction 6

1 Scope 7

2 Terms and definitions 7

2.1 Terms and definitions related to all areal surface texture measurement methods 7

2.2 Terms and definitions related to x- and y-scanning systems 13

2.3 Terms and definitions related to optical systems
15

2.4 Terms and definitions related to optical properties of the workpiece 17

2.5 Terms and definitions specific to coherence scanning interferometric microscopy 18

3 Descriptions of the influence quantities 23

3.1 General 23

3.2 Influence quantities 23

Annex A (informative) Overview and components of a coherence scanning interferometry (CSI)
microscope 27

Annex B (informative) Coherence scanning interferometry (CSI) theory of operation 33

Annex C (informative) Spatial resolution 44

Annex D (informative) Example procedure for estimating surface topography repeatability 49

Annex E (informative) Relation to the GPS matrix model
50

Bibliography 52

Úvod

Introduction

Tato část ISO 25178 patří do souboru norem geometrických požadavků na výrobky (GPS) a je ji možné považovat za všeobecnou normu GPS (viz ISO/TR 14638). Svým obsahem ovlivňuje článek 5 řetězu norem profilu drsnosti, profilu vlnitosti, základního profilu a textury povrchu plochy ve všeobecné matici GPS.

This part of ISO 25178 is a geometrical product
specification (GPS) standard and is to be regarded as a general GPS standard (see ISO/TR 14638). It
influences chain link 5 of the chains of standards on roughness profile, waviness profile, primary profile and areal surface texture.

ISO/GPS Masterplan uvedený v ISO/TR 14638 podává přehled systému ISO/GPS jehož částí je tento dokument. Základní pravidla ISO/GPS uvedená v ISO 8015 použitá v tomto dokumentu a výchozí rozhodující pravidla uvedená v ISO 14253-1 použitá ke specifikacím provedeným v souladu s tímto dokumentem, není-li jinak indikováno.

The ISO/GPS Masterplan given in ISO/TR 14638 gives an overview of the ISO/GPS system of which this document is a part. The fundamental rules of ISO/GPS given in ISO 8015 apply to this document and the default decision rules given in ISO 14253-1 apply to specifications made in accordance with this document, unless otherwise indicated.

Pro více podrobnější informace o vztahu této části ISO 25178 k jiným normám a k modelu matice GPS, viz přílohu E.

For more detailed information on the relation of this part of ISO 25178 to other standards and to the GPS matrix model, see Annex E.

Tato část ISO 25178 popisuje metrologické charakteristiky koherenčních skenovacích interferometrických mikroskopů, navržených pro měření povrchových topografických map. Pro více podrobnější informace o koherenční skenovací technice viz přílohu A a přílohu B.

This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of coherence scanning interferometric microscopes, designed for the measurement of surface topography maps. For more detailed information on the coherence scanning technique, see Annex A and Annex B.

POZNÁMKA  Části tohoto dokumentu, zejména informační texty, mohou popisovat patentované systémy a metody. Tyto informaci jsou poskytnuty pouze na pomoc uživatelům pochopit zásady koherenční skenovací interferometrie. Tento dokument není určen ke stanovení priority pro duševní vlastnictví ani není licencí na technologie, které mohou být v tomto dokumentu popsány.

NOTE Portions of this document, particularly the informative texts, may describe patented systems and methods. This information is provided only to assist users in understanding the operating principles of coherence scanning interferometry. This document is not intended to establish priority for any intellectual property, nor does it imply a license to any
proprietary technologies that may be described herein.

1 Předmět normy

1 Scope

Tato část ISO 25178 specifikuje metrologické charakteristiky koherenční skenovací interferometrie (CSI) systému pro 3D mapování výšky povrchu.

This part of ISO 25178 specifies the metrological characteristics of coherence scanning interferometry (CSI) systems for 3D mapping of surface height.