Geometrické specifikace produktu (GPS) –
Textura povrchu: Plocha –
Část 603: Jmenovité charakteristiky bezdotykových přístrojů (interferometrická mikroskopie s fázovým posuvem)

ČSN
EN ISO 25178- 603

01 4451

Spécification géométrique des produits (GPS) –
État de surface: Surfacique –
Partie 603: Caractéristiques nominales
des instruments sans contact (microscopes interférométriques à glissement de franges)
(ISO 25178- 603:2013)

Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft –
Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräte (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie)
(ISO 25178- 603:2013)

Obsah

Contents

Strana

Page

Úvod 6

1 Předmět normy 7

2 Termíny a definice 7

2.1 Termíny a definice vztahující se ke všem
metodám měření plochy textury povrchu 7

2.2 Termíny a definice vztahující se k x a y
skenovacímu systému 15

2.3 Termíny a definice vztahující se k optickým systémům 17

2.4 Termíny a definice vztahující se k optickým vlastnostem obrobku 19

2.5 Termíny a definice specifické
pro interferometrickou mikroskopii s fázovým posunem 20

3 Popisy ovlivňujících veličin 21

3.1 Obecně 21

3.2 Vliv veličin 22

Příloha A (informativní) Součásti interferometrického mikroskopu s fázovým posunem (PSI) 25

Příloha B (informativní) Interferometrický mikroskop s fázovým posunem (PSI) – Teorie postupu 27

Příloha C (informativní) Chyby a opravy
interferometrických mikroskopů s fázovým
posunem (PSI) 32

Příloha D (informativní) Vztah k maticovému
modelu GPS 36

Bibliografie 38

Introduction 6

1 Scope 7

2 Terms and definitions 7

2.1 Terms and definitions related to all areal
surface texture measurement methods 7

2.2 Terms and definitions related to x-
and y-scanning systems 15

2.3 Terms and definitions related to optical
systems 17

2.4 Terms and definitions related to optical
properties of the workpiece 19

2.5 Terms and definitions specific to phase-shifting interferometric microscopy 20

3 Descriptions of the influence quantities 21

3.1 General 21

3.2 Influence quantities 22

Annex A (informative) Components of a phase-shifting interferometric (PSI) microscope 25

Annex B (informative) Phase-shifting interferometric
(PSI) microscope – Theory of operation 27

Annex C (informative) Errors and corrections
for phase-shifting interferometric (PSI) microscopes 32

Annex D (informative) Relation to the GPS matrix
model 36

Bibliography 38

Úvod

Introduction

Tato část ISO 25178 patří do souboru norem geomet-
rických požadavků na výrobky (GPS) a je ji možné pova-
žovat za všeobecnou normu GPS (viz ISO/TR 14638). Svým obsahem ovlivňuje článek 5 řetězu norem textury povrchu plochy ve všeobecné matici GPS.

This part of ISO 25178 is a Geometrical Product Spe-
cification standard and is to be regarded as a general GPS standard (see ISO/TR 14638). It influences the chain link 5 of the chain of standards on areal surface texture.

Tato část ISO 25178 popisuje metrologické charak-
teristiky interferometrického fázového posunu (PSI) profilu a mikroskopů měřicích texturu povrchu plochy, navržených pro měření povrchových topografických map. Pro více podrobnější informace o technice inter-
ferometrie fázového posunu viz přílohu A a přílohu B.

This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric (PSI) profile and areal surface texture measuring microscopes, designed for the measurement of surface topography maps. For more detailed information on the phase-shifting interferometry technique, see Annex A and Annex B.

ISO/GPS Masterplan uvedený v ISO/TR 14638 podává přehled systému ISO/GPS jehož částí je tento dokument. Základní pravidla ISO/GPS uvedená v ISO 8015 použitá v tomto dokumentu a výchozí rozhodující pravidla uvedená v ISO 14253-1 použitá ke specifikacím pro-
vedeným v souladu s tímto dokumentem, není-li jinak indikováno.

The ISO/GPS Masterplan given in ISO /TR 14638 gives an overview of the ISO/GPS system of which this document is a part. The fundamental rules of ISO/GPS given in ISO 8015 apply to this document and the default decision rules given in ISO 14253-1 apply to specifications made in accordance with this document, unless otherwise indicated.

POZNÁMKA Části tohoto dokumentu, zejména informační kapitoly, mohou popisovat patentované systémy a metody. Tyto informaci jsou poskytnuty pouze na pomoc uživatelům pochopit principy interferometrie fázového posunu. Tento dokument není určen ke stanovení priority pro duševní vlastnictví ani není licencí na technologie, které mohou být v tomto dokumentu popsány.

NOTE Portions of this document, particularly the informative clauses, may describe patented systems and methods. This information is provided only to assist users in understanding the operating principles of phaseshifting interferometry. This document is not intended to establish priority for any intellectual property, nor does it imply a license to any proprietary tech-
nologies that may be described herein.

1 Předmět normy

1 Scope

Tato část ISO 25178 popisuje metrologické charak-
teristiky interferometrického fázového posunu (PSI) a mikroskopů měřicích texturu povrchu plochy.

This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric (PSI) profile and areal surface texture measuring microscopes.