ČESKÁ TECHNICKÁ NORMA

ICS 31.080.01; 31.220.01 Duben 2015

Polovodičové součástky – Mikroelektromechanické součástky –
Část 21: Metoda zkoušení pro Poissonův poměr tenkovrstvých materiálů MEMS

ČSN
EN 62047-21

35 8775

idt IEC 62047-21:2014

Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices –
Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials

Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques –
Partie 21: Méthode d’essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince

Halbleiterbauelemente – Bauelemente der Mikrosystemtechnik –
Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik

Tato norma přejímá anglickou verzi evropské normy EN 62047-21:2014. Má stejný status jako oficiální verze.

This standard implements the English version of the European Standard EN 62047-21:2014. It has the same status as the official version.

Anotace obsahu

Tato norma definuje stanovení Poissonova poměru z výsledků měření, které jsou získány pomocí zatěžování tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS) v jedné, nebo dvou osách. Jedná se o vzorky, které mají délku a šířku menší jak 10 mm a tloušťku menší jak 10 mm.

 

Národní předmluva

Informace o citovaných dokumentech

IEC 62047-8:2011 zavedena v ČSN EN 62047-8:2011 (35 8775) Polovodičové součástky – Mikroelektromechanické součástky – Část 8: Zkušební metoda ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev

ASTM E132-04:2010 nezavedena

Vypracování normy

Zpracovatel: VUT FEKT Brno, IČ 00216305, Doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D.

Technická normalizační komise: TNK 102 Součástky a materiály pro elektroniku a elektrotechniku

Pracovník Úřadu pro technickou normalizaci, metrologii a státní zkušebnictví: Ing. Jan Křivka

Konec náhledu - text dále pokračuje v placené verzi ČSN v anglickém jazyce.

Zdroj: www.cni.cz