ČESKÁ TECHNICKÁ NORMA

ICS 31.080.01; 31.220.01 Září 2015

Polovodičové součástky –
Mikroelektromechanické součástky –
Část 16: Metody zkoušení pro stanovení
zbytkového pnutí vrstev MEMS – Metody zakřivení
desky a ohyb konzolového nosníku

ČSN
EN 62047-16

35 8775

idt IEC 62047-16:2015

Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices –
Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection
methods

Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques –
Partie 16: Méthodes d’essai pour déterminer les contraintes résiduelles des films de MEMS – Méthodes de la courbure
de la plaquette et de déviation de poutre en porte-à-faux

Halbleiterbauelemente – Bauelemente der Mikrosystemtechnik –
Teil 16: Messverfahren zur Ermittlung der Eigenspannungen in Dünnschichten von MEMS-Bauteilen – Substratkrümmungs-
und Biegebalken-Verfahren

Tato norma přejímá anglickou verzi evropské normy EN 62047-16:2015. Má stejný status jako oficiální verze.

This standard implements the English version of the European Standard EN 62047-16:2015. It has the same status as the official version.

Anotace obsahu

Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 mm do 10 mm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu.

 

Národní předmluva

Informace o citovaných dokumentech

IEC 62047-21 zavedena v ČSN EN 62047-21 (35 8775) Polovodičové součástky – Mikroelektromechanické součástky – Část 21: Metoda zkoušení pro Poissonův poměr tenkovrstvých materiálů MEMS

Vysvětlivky k textu převzaté normy

V případě nedatovaných odkazů na evropské/mezinárodní normy jsou ČSN uvedené v článcích „Informace
o citovaných dokumentech“ a „Souvisící ČSN“ nejnovějšími vydáními, platnými v době schválení této normy. Při používání této normy je třeba vždy použít taková vydání ČSN, která přejímají nejnovější vydání nedatovaných evropských/mezinárodních norem (včetně všech změn).

Vypracování normy

Zpracovatel: Úřad pro technickou normalizaci, metrologii a státní zkušebnictví, IČ 48135267

Technická normalizační komise: TNK 102 Součástky a materiály pro elektroniku a elektrotechniku

Pracovník Úřadu pro technickou normalizaci, metrologii a státní zkušebnictví: Ing. Jan Křivka

 

Konec náhledu - text dále pokračuje v placené verzi ČSN v anglickém jazyce.

Zdroj: www.cni.cz